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目前微部件的加工主要包括兩種方法:光刻和機械加工。光刻基于半導體制造技術，用于微型電機系統(tǒng)。雖然光刻技術比較先進，但存在一些問題，如單一的處理數(shù)據(jù)類型、有價值的處理設備等。

微機床mmt和微加工mm是實現(xiàn)傳統(tǒng)加工技術和設備小型化和批量生產(chǎn)微型零件的技能，即用小型機床加工小件。多軸鉆攻機加工通常是指標準范圍為10010mm、精密范圍為0.11的金屬或塑料件的非光刻加工技術。臺式工廠是一家由微機床、微機械手和運輸設備組成的小型化工廠。工具和桌面工廠的流程和典型產(chǎn)品以及不同時代的典型產(chǎn)品見圖3。

多軸鉆攻機具有體積小、慣性質小、發(fā)熱量小等優(yōu)點，具有能耗低、靈活性高、效率高等優(yōu)點，可以降低微機生產(chǎn)線的總體系統(tǒng)標準規(guī)劃。

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